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產品知識

冷水機在半導體產品生產加工的應用

      上海田楓廠家在這里和大家討論下冷水機在半導體產品生產加工的應用,在芯片、晶元、液晶面板、集成電路等半導體產品生產加工過程中,半導體產品生產主工藝設備對加工溫度有著很苛刻的要求。主工藝設備在半導體產品加工過程中,需要維持恒定的環境溫度,如果配套控溫設備溫度波動過大就會造成廢品和殘次品,引起不必要的經濟浪費。

       現在主流的給主工藝設備配套的控溫設備溫控能力可以達到空載狀態下溫度波動不超過±0.05℃,帶載狀態下不超過±0.5℃。目前常用的控溫方式為間接制冷系統,是利用控溫設備的冷水機制冷系統冷卻載冷劑,再經過電加熱器進行溫度調節,持續不斷地向主工藝設備端供應恒溫載冷劑,通過載冷劑與主工藝設備熱交換腔進行熱量交換,維持半導體主工藝設備的恒溫狀態。

點擊次數:  更新時間:2019-03-15  【打印此頁】  【關閉
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